汇聚聚焦离子束（FIB）技艺和扫描电子显微镜（SEM）的FIB-SEM双束系统，通过整合气体注入系统、纳米操控器、多种探伤器以及可控样品台等附件欧洲杯体育，已发展成为一个大概进行微不雅区域成像、加工、分析和操控的轮廓分析器具。该系统的应用照旧从半导体行业推广到材料科学、生命科学和地质学等多个领域。

本文带你了解FIB-SEM双束系统中的中枢办法和基础旨趣，了解其在材料科学中的典型应用案例，如透射电子显微镜（TEM）样品的制备、微纳要领力学测试样品的制备以及材料的三维成像和分析。

历史布景

1978年，好意思国加州休斯有计划所拓荒了宇宙上第一台以液态金属镓（Ga）离子为放射源的聚焦离子束（FIB）系统。1988年，首台FIB-SEM双束系统奏凯面世，20世纪90年代，交易化的双束系统运转普及。

跟着技艺的发展，FIB-SEM双束系统束缚集成新式探伤器、微纳操控器和测试安装，成为功能弘远的轮廓分析与表征诞生，其应用领域也从半导体行业推广到更平凡的领域。

系统组成与旨趣

FIB-SEM双束系统由离子源、离子光学柱、束描画系统、信号集合系统和样品台五部分组成。

离子源在尖端产生带正电的离子，通过静电透镜和偏转安装终了对样品的可控扫描。样品加工通过加快离子轰击样品终了，产生的二次电子和离子由探伤器网罗用于成像。为保证离子束不受气体分子影响，样品腔和离子束镜筒需在高真空要求下使命。

典型 ＦＩＢ-ＳＥＭ 双束诞生暗意图

液态金属镓离子源的什物相片

应用领域

为了便捷大家对材料进行久了的失效分析及有计划，具备Dual Beam FIB-SEM业务，包括透射电镜( TEM)样品制备，材料微不雅截面截取与不雅察、样品微不雅刻蚀与千里积以及材料三维成像及分析等。

1. TEM样品制备：欺诈FIB-SEM双束系统在感兴趣的样品区域内制备高质地的TEM样品，包括非索要法和索要法两种样貌。

2. 微纳要领力学性能测试样品制备：FIB用于加工各式几何体式的力学测试样品，以终了对微纳要领材料力学性能的高精度测量。

ａ. 微拉伸暗意图 ｂ， ｃ. 拉伸试样 ｄ. 透射电镜中进行拉伸老到

3. 材料三维成像和分析：通过FIB逐层切割和SEM成像轮流进行，汇聚软件三维重构，终了对材料结构、形貌及因素等信息的表征。

聚焦离子束的三种使命模式 ａ. 成像 ｂ. 加工；ｃ. 千里积

２Ｄ 取向成像图片和三维重构图

论断

FIB-SEM双束系统看成一种先进的分析器具欧洲杯体育，在材料科学、生命科学和地质学等领域展现出平凡的应用后劲。通过束缚优化和集成新技艺，该系统在擢升材料分析精度和后果方面推崇着进军作用。